КОНТРОЛЬ ТЕМПЕРАТУРНЫХ ПОЛЕЙ МИКРОЭЛЕКТРОННЫХ УСТРОЙСТВ ВСТРОЕННЫМИ ЦИФРОВЫМИ ДАТЧИКАМИ ТЕМПЕРАТУРЫ С ОПТИЧЕСКИМ КАНАЛОМ ПЕРЕДАЧИ ИНФОРМАЦИИ

Abstract

Приведен краткий обзор применения на практике встроенных датчиков температуры для измерения температуры элементов конструкции микроэлектронных устройств (МЭУ). Рассмотрены варианты цифровых датчиков температуры с передачей измерительной информации по оптическому каналу посредством светодиода. Показана возможность одновременного измерения температуры в нескольких точках конструкции МЭУ несколькими датчиками с передачей измерительной информа- ции по оптическим каналам, разделенным по длине волны излучения. Приведена и описана струк- турная схема фотоприемного устройства, обеспечивающего прием и обработку импульсного излучения светодиодов. Представлены результаты измерения сигналов датчиков, размещенных на плате макета микросборки, содержащей восемь пар мощных МДП-транзисторов, при нагреве различных пар транзисторов. Обсуждается возможность использования этих сигналов для определения температуры разогреваемых активных элементов.